CMPure 和 CMPD 滤芯

摘要

产品标识

CMPure 和 CMPD 系列滤芯是专为化学机械平坦化（CMP）浆料系统优化的先进熔喷深层滤芯。它们采用专有的 CoLD 纤维熔喷技术，该技术在细纤维基体中集成共位大直径纤维，形成刚性结构网络。

主要特点：

• 全聚丙烯结构
• 连续梯度孔隙结构，内置预过滤功能
• 兼容金属（钨、铜、铝）、氧化物和 STI 浆料
• 也可作为一次性过滤囊使用

操作极限

• 最高温度：180°F / 82°C
• 最大压差：
  • 60 psid @ 86°F / 4 bar @ 30°C
  • 30 psid @ 150°F / 2 bar @ 66°C
  • 15 psid @ 180°F / 1 bar @ 82°C

机械/水力参数

材料

• 介质：聚丙烯
• 芯柱、骨架和端盖：聚丙烯
• O 型圈选项：EPDM、氟碳弹性体

过滤精度

• 0.5 µm
• 2 µm
• 5 µm
• 10 µm
• 15 µm
• 20 µm
• 30 µm
• 50 µm

配置

• 公称长度：
  • 4 英寸 / 102 毫米
  • 10 英寸 / 254 毫米
  • 20 英寸 / 508 毫米
  • 30 英寸 / 762 毫米
  • 40 英寸 / 1016 毫米
• 直径：2.6 英寸 / 66 毫米

压降与液体流量关系

数据表包含一张图表，显示不同过滤精度（0.5 µm、2 µm、5 µm、10 µm、15 µm、20 µm、30 µm、50 µm）下，每 10 英寸 / 254 毫米滤芯的清洁压降（psid 或 mbar）与液体流量（gpm 或 L/min）的关系。对于粘度不同于水的液体，压降应乘以以厘泊为单位的粘度。请参阅官方 PDF 以获取图表中的精确表格数值。

型号 / 订购信息

• 过滤精度 (µm)
  • 0.5：0.5
  • 2：2
  • 5：5
  • 10：10
  • 15：15
  • 20：20
  • 30：30
  • 50：50
• 公称长度 (英寸 / 毫米)
  • 4：4 / 102
  • 10：10 / 254
  • 20：20 / 508
  • 30：30 / 762
  • 40：40 / 1016
• 结构材料
  • U：聚丙烯
• 滤芯端部配置
  • M3：SOE 平头封闭端，222 O 型圈
  • H21：双开口端，聚丙烯和乙烯丙烯共聚物密封
• O 型圈材料
  • E：EPDM
  • F：PTFE 包裹氟碳弹性体
  • V：氟碳弹性体

---

免责声明：本摘要基于提取的文本，可能不包含 OEM PDF 数据表中的所有图表、脚注或最新修订版本。对于合同数据，请始终参考项目中使用的特定 OEM PDF 修订版。

官方数据表 (PDF)

Lenntech 数据表镜像