Mega Etch 过滤器

摘要

产品标识

Mega-Etch 过滤器设计用于循环蚀刻槽。它采用专利的非对称聚砜膜，具有高流量、低压降、快速浴槽净化和长使用寿命的特点。无需 IPA 预润湿。

优点

• 提供 0.05、0.1、0.2、0.45 µm 的截留等级
• 高流量与低压降
• 无需 IPA 预润湿
• 快速浴槽净化
• 专利的高度非对称聚砜膜确保长寿命

操作极限

• 最高操作温度：203˚F / 95˚C
• 最大正向压差：50 psid @ 60˚F / 3.45 bar @ 20˚C

机械/液压参数

材料

• 介质：高度非对称亲水性聚砜
• 硬件：聚丙烯
• 支撑层：聚丙烯
• O 型圈：Viton A（标准）

截留等级

• 0.45 µm（0.1 µm RP₂）
• 0.2 µm
• 0.1 µm
• 0.05 µm
• 0.45 µm（EBC450）滤芯的循环性能为 0.1 µm。

过滤面积

• 10" / 254 mm：7.0 ft.² / 0.65 m²
• 20" / 508 mm：14.0 ft.² / 1.30 m²

配置

• 公称长度：10" / 25.4 cm，20" / 50.8 cm
• 直径：2.6" / 6.6 cm

性能参数

Mega-Etch 滤芯提供 0.05、0.1、0.2 或 0.45 µm 的单次通过截留等级。官方 PDF 中以图形格式提供了 0.05 µm、0.1 µm、0.2 µm 和 0.45 µm 滤芯的清洁压降与液体流量（水）的关系数据。对于粘度不同于水的液体，请将压降乘以以厘泊为单位的粘度。

目标应用

Mega-Etch 滤芯推荐用作循环蚀刻槽中的主过滤器。在环境温度下运行时，它与多种蚀刻溶液兼容，强烈推荐用于含表面活性剂的 SiO₂ 蚀刻和低功率内部泵。也推荐用于主要基于 HF 的半水性剥离剂。

注意：当用于不含表面活性剂且使用较高功率泵的 SiO₂ 蚀刻时，Mega-Etch 滤芯会发生压力润湿。

型号/订购信息

EBC 系列滤芯由以下代码组合指定：

• 截留等级（代码，单位 µm）
  • 050：0.05
  • 100：0.1
  • 200：0.2
  • 450：0.45（0.1 RP₂）
• 滤芯长度（代码）
  • 10：10" / 254 mm
  • 20：20" / 508 mm
• 端部配置（代码）
  • M3：SOE 平头封闭端，外部 222 O 型圈
  • M7：SOE 翅片端，外部 226 O 型圈
  • M8：SOE 翅片端，外部 222 O 型圈
• O 型圈材料（代码）
  • V：Viton A（标准）
  • T：FEP 包覆硅胶
  • F：FEP 包覆 Viton A
  • C：Chemraz

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免责声明：本摘要基于提供的文本提取内容。它可能不包含所有图表、脚注或最新修订版。对于合同数据，请参考您项目中使用的官方 OEM PDF 修订版。

官方数据表（PDF）

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