GPFA

摘要

产品标识

GPFA 系列高纯全氟聚合物滤芯专为卓越的化学兼容性、宽温度范围和超低析出物而设计，满足微电子行业的严苛需求。它们非常适合用于腐蚀性“湿法蚀刻与清洗”工艺。PTFE 膜可在低压降下实现高流量，而 PFA-440HP 硬件则确保了优异的耐化学性和耐高温性能。通过专门的 UPW 冲洗工艺，实现了极低的离子和 TOC 析出物。提供湿包装选项，便于在水性应用中润湿。

构造材料

• 过滤介质： PTFE
• 支撑介质： PFA
• 端盖： PFA440HP
• 中心芯管： PFA440HP
• 外支撑骨架： PFA440HP
• O 型圈： Teflon® 包覆 Viton®

操作极限

• 建议更换 ΔP： 35 PSID
• 最高温度： 365˚F (185˚C)
• 最大压差： 60 PSID (4.1 bar) 在 68˚F (20˚C) 时

洁净度

半导体冲洗 (SR) 选项提供了卓越的产品洁净度，典型水平如下：

• 金属析出物： 总量 < 20 ppb
• 颗粒析出物：
  • ≤ 2 个/毫升 (≥ 0.2µ)
  • ≤ 1 个/毫升 (≥ 1.0µ)
• TOC 析出物： 低于检测限

机械/水力参数

• 长度： 5 至 40 英寸 (12.7 至 101.6 厘米) 标称
• 外径： 2.68 英寸 (6.8 厘米) 标称

流量 vs 压降： GPFA 系列折叠式全氟聚合物 PTFE/PFA 滤芯的流量与压降性能数据可查阅。具体数值请参见官方 PDF。

典型应用

• 高活性化学品：
  • 乙酸 (10%)
  • 氢氟酸 (50%)
  • 过氧化氢 (30%)
  • 硝酸 (浓)
  • 磷酸 (浓)
  • 硫酸 (浓)
  • 氢氧化铵 (浓)
  • 氢氧化钾 (浓)
  • 氢氧化钠 (浓)
  • TMAH (5%)
  • 王水 (HNO₃:HCl)
  • BOE；NH₄F:HF
  • 混合酸蚀刻液
  • ChromPhos 蚀刻液
  • Piranha 蚀刻液

订购信息

• 精度 (µ)： 0.05, 0.1, 0.2, 0.45, 1.0, 5.0, 10.0
• 长度： 5” (12.7 cm), 10” (25.4 cm), 20” (50.8 cm), 30” (76.2 cm), 40” (101.6 cm)
• 端盖样式：
  • 3 = 222 带翅片
  • 4 = 222 平盖
  • 6 = 226 平盖
  • 7 = 226 带翅片
  • 24 = 222 帽盖
• O 型圈：
  • T = Teflon® 包覆 Viton®
• 选项：
  • SR = 半导体冲洗
  • W = 湿包装

免责声明： 本摘要基于提取的文本，可能不包含所有图表、脚注或最新修订内容。任何项目的合同数据必须与该项目中使用的原厂 PDF 修订版一致。

官方数据表 (PDF)

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