Purolite 产品公告 Ultraclean

摘要

产品标识

• 产品系列： Purolite UltraClean™
• 应用： 用于电子和半导体行业超纯水（UPW）的离子交换树脂。

简介

Purolite UltraClean™ 树脂专为满足电子行业对超纯水（UPW）的需求而制造，重点在于实现极致纯度并最大限度减少安装时的污染。这些树脂具有出色的冲洗时间，可达到电阻率大于 18.2 MΩ·cm，且总有机碳（TOC）含量极低。

超纯水树脂要求

用于该行业的树脂必须满足：

• 源自优质进水的极致品质。
• 低 TOC 可浸出物。
• 安装后快速冲洗达到水质要求。
• 无颗粒释放。
• 优异的动力学性能。
• 制造后保质期为 6 个月。
• 一致的使用寿命和性能。
• 可接受的床层压降。
• 高再生型转化率。

其他要求可能包括：高效的可再生性、保持混合状态（不可分离的混床），或良好的组分可分离性（可再生混床）。

Purolite UPW 树脂系列

Purolite 提供用于 UPW 生产预处理、初级处理和最终精处理阶段的树脂。

表 1 – Purolite 超纯水（UPW）树脂系列

• UltraClean™ UCW9966： 低 TOC、高纯度、UPW 不可分离混床树脂，用于最终精处理和终端处理。
• UltraClean™ UCW9964： 低 TOC、高纯度、UPW 可分离混床树脂，用于最终精处理和终端处理。
• UltraClean™ UCW9126： UPW 高纯度、均粒、凝胶型强酸阳离子交换树脂，用于单阳床或作为可再生混床的阳离子组分。
• UltraClean™ UCW5072： UPW 高纯度、均粒、凝胶型强碱 I 型阴离子交换树脂，用于单阴床或作为可再生混床的阴离子组分。
• UltraClean™ UCW3900： 高阳离子交换容量的混床树脂，用于高纯水生产。
• UltraClean™ UCW3700： 均衡型混床树脂，用于高纯水生产。
• UltraClean™ UCW1080： 选择性除硼树脂，用于 UPW 回路中，将硼含量维持在 < 50 ppt。

性能数据

旗舰产品 UltraClean™ UCW9966 和 UCW9964 专为需要 TOC < 1 ppb 且电阻率 > 18.2 MΩ·cm 的 UPW 生产而设计，并具有最短的冲洗时间。

表 2 – 典型 UPW 产品特性

对于使用 UCW 系列进行最终精处理，冲洗水的最低电阻率应 > 17.5 MΩ·cm，TOC < 2 ppb，SiO₂ < 2 ppb，流速 > 30 BV/h。对于要求较低的 TOC 规格（冲洗后 < 10 ppb），推荐使用 UCW3900 和 UCW3700。

混床 UPW 选项

UltraClean™ UCW 可分离和不可分离混床由 1:1 化学当量（40:60）的阳离子与阴离子比例组成。其单独组分 UCW9126（阳离子）和 UCW5072（阴离子）也可单独提供。

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官方数据表（PDF）

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